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超大規(guī)模集成電路
超大規(guī)模集成電路用高純鈦（5N）的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化(2015-04-09)
高純鈦，是指純度在99.95%乃至99.995%以上的鈦。具有密度小，比強(qiáng)度高，彈性模量低(表面硬度)，導(dǎo)熱系數(shù)小，耐腐蝕、耐熱、耐冷、無(wú)磁性、無(wú)毒等特性，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路上。…[詳情]
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