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5納米
重慶研究院在5納米石墨烯納米孔精確制備技術(shù)研究中取得進(jìn)展(2017-09-01)
日前，中國(guó)科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院精準(zhǔn)醫(yī)療單分子診斷技術(shù)研究中心在5納米石墨烯納米孔精確制備技術(shù)研究方面取得進(jìn)展，研究成果以Precisefabricationofa5nmgraphenenanoporewithaheliumion…[詳情]
詳解半導(dǎo)體5納米制程技術(shù)及成本挑戰(zhàn)(2016-03-01)
導(dǎo)讀：半導(dǎo)體業(yè)自28納米進(jìn)步到22/20納米，受193i光刻機(jī)所限，必須采用兩次圖形曝光技術(shù)（DP）。再進(jìn)一步發(fā)展至16/14納米時(shí)，大多采用finFET技術(shù)。 半導(dǎo)體業(yè)自28納米進(jìn)步到22/20納米，受193i光刻機(jī)所…[詳情]