中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所深紫外鍍膜課題組在光刻機(jī)鏡頭鍍膜技術(shù)上取得一系列進(jìn)展，提出并實(shí)現(xiàn)了數(shù)種提高光學(xué)薄膜厚度均勻性的辦法，克服了大口徑大曲面鏡頭上薄膜厚度均勻性控制的難題。

　　光刻機(jī)鏡頭中包含大量的曲面光學(xué)鏡頭，隨著光刻機(jī)數(shù)值孔徑增大，部分光學(xué)鏡面的口徑增大且形狀逐步接近于半球，鏡面上鍍膜后的薄膜厚度均勻性顯著變差，影響了光刻機(jī)的最終性能。提高曲面鏡片上的薄膜厚度均勻性是保證光刻機(jī)性能的關(guān)鍵，傳統(tǒng)上，通過(guò)實(shí)驗(yàn)反復(fù)修正擋板的形狀可提高曲面鏡片上薄膜厚度均勻性，該方法明顯降低了鍍膜效率。

　　研究人員通過(guò)發(fā)展計(jì)算機(jī)輔助方法，提出了利用理論模擬鍍膜過(guò)程并設(shè)計(jì)擋板的方法，快速提高鏡片上鍍膜厚度的均勻性，研究人員首次找出了厚度均勻性修正擋板的形狀和無(wú)擋板時(shí)薄膜厚度的分布存在的關(guān)聯(lián)規(guī)律，通過(guò)該聯(lián)系可以基本確定擋板形狀，并將擋板尺寸和單個(gè)參數(shù)相關(guān)聯(lián)，最后通過(guò)簡(jiǎn)單的局域優(yōu)化算法可以設(shè)計(jì)出最終的薄膜厚度均勻性修正擋板形狀。利用該方法，研究人員通過(guò)單次實(shí)驗(yàn)即可將直徑400mm的大口徑平面鏡片上薄膜厚度均勻性提高至99.6%，同時(shí)將各種曲面鏡片上的薄膜厚度均勻性顯著提高至97%以上。該研究推進(jìn)了虛擬鍍膜技術(shù)的發(fā)展，對(duì)其他光學(xué)系統(tǒng)上的薄膜厚度均勻性研究有促進(jìn)作用。