北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司日前攜CS系列數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器參展國(guó)家“十二五”科技創(chuàng)新成就展。
　　
 　　此次國(guó)家“十二五”科技創(chuàng)新成就展重點(diǎn)展示“十二五”以來(lái)的重大科技成果和重要工作進(jìn)展。展覽內(nèi)容共分“總況、重大專項(xiàng)、基礎(chǔ)研究、戰(zhàn)略高技術(shù)、農(nóng)業(yè)科技、民生科技、區(qū)域創(chuàng)新、大眾創(chuàng)業(yè)萬(wàn)眾創(chuàng)新、創(chuàng)新人才、融入全球創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)”十個(gè)展區(qū)。七星電子生產(chǎn)的流量計(jì)作為02重大專項(xiàng)中關(guān)鍵核心部件產(chǎn)品，受邀展出。
　　
　　大規(guī)模集成電路芯片制造的許多關(guān)鍵工藝?yán)缈涛g、PVD、CVD、擴(kuò)散爐等工序都要求對(duì)工藝氣體的流量進(jìn)行精確的控制，而氣體質(zhì)量流量控制器是對(duì)氣體流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的核心部件，在半導(dǎo)體設(shè)備中具有極其重要的作用。
　　
　　在七星電子的CS系列產(chǎn)品問(wèn)世前，中國(guó)大陸的半導(dǎo)體生產(chǎn)線所用的氣體質(zhì)量流量控制器基本由國(guó)外產(chǎn)品所壟斷。一直以來(lái)嚴(yán)重制約了我國(guó)集成電路制造行業(yè)的良性發(fā)展。在國(guó)家02專項(xiàng)的支持下，項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)深挖市場(chǎng)需求，采用創(chuàng)新的傳感器設(shè)計(jì)，重視軟件開(kāi)發(fā)，研制出CS系列數(shù)字產(chǎn)品，打破了我國(guó)高端集成電路裝備所需氣體質(zhì)量流量控制器長(zhǎng)期依賴進(jìn)口的局面。
　　
　　產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)在潔凈度、最小流量、準(zhǔn)確度，響應(yīng)時(shí)間、寬電源等方面達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平，并且在本土化服務(wù)等方面具備優(yōu)勢(shì)。產(chǎn)品已經(jīng)在中芯國(guó)際、上海華虹宏力、北方微電子等大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線和高端半導(dǎo)體設(shè)備上使用，取得了良好的效果，通過(guò)專項(xiàng)技術(shù)延伸已成功應(yīng)用在光伏電池、LED、真空、石油化工等多個(gè)領(lǐng)域，為我國(guó)眾多行業(yè)提供了高水平的氣體流量控制解決方案。自產(chǎn)品推向市場(chǎng)以來(lái)，累計(jì)銷售近40000余臺(tái)，出口12000余臺(tái)，取得了良好的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。
　　
　　在展覽中，七星電子氣體質(zhì)量流量控制器，同載人航天和探月工程、天河二號(hào)超級(jí)計(jì)算機(jī)、北斗導(dǎo)航系統(tǒng)、蛟龍?zhí)栞d人深潛器等戰(zhàn)略高技術(shù)產(chǎn)品一同展示，也體現(xiàn)了國(guó)家對(duì)大規(guī)模集成電路中的核心部件的重視。