6月30日，中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所承擔(dān)的2項(xiàng)中國(guó)科學(xué)院科研裝備研制項(xiàng)目——“納米磁-電-熱多參量耦合原位表征系統(tǒng)”和“高離化率磁控濺射復(fù)合受控陰極電弧鍍膜裝置”順利通過(guò)了中國(guó)科學(xué)院條件保障與財(cái)務(wù)局組織的驗(yàn)收。條財(cái)局副局長(zhǎng)曹凝等出席了驗(yàn)收會(huì)。

　　上午，2組測(cè)試專(zhuān)家組分別聽(tīng)取了各項(xiàng)目組測(cè)試說(shuō)明，審議和確認(rèn)了測(cè)試大綱，根據(jù)實(shí)施方案規(guī)定的要求從研制裝備的運(yùn)行、使用情況、技術(shù)測(cè)試實(shí)驗(yàn)結(jié)果等角度對(duì)各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)逐一進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試，形成技術(shù)測(cè)試報(bào)告。

　　下午，驗(yàn)收專(zhuān)家組聽(tīng)取了2個(gè)項(xiàng)目組工作報(bào)告、財(cái)務(wù)報(bào)告、使用報(bào)告和測(cè)試專(zhuān)家組的測(cè)試報(bào)告，現(xiàn)場(chǎng)查看了裝備的運(yùn)行情況，查閱了文件檔案及相關(guān)財(cái)務(wù)賬目。驗(yàn)收專(zhuān)家組認(rèn)為，項(xiàng)目承擔(dān)單位完成了實(shí)施方案規(guī)定的研制任務(wù)，達(dá)到了研制目標(biāo)，同意2個(gè)項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收。

　　“納米磁-電-熱多參量耦合原位表征系統(tǒng)”項(xiàng)目研制了一套具有核心專(zhuān)利技術(shù)的新型納米磁-電-熱多參量耦合原位表征系統(tǒng)。該裝備由掃描探針顯微鏡工作平臺(tái)、磁-電-熱多參量耦合信號(hào)獲取探針、多參量信號(hào)分離系統(tǒng)、多物理場(chǎng)外場(chǎng)施加模塊、多參量聯(lián)用控制軟件等組成。通過(guò)項(xiàng)目的研制獲得了磁學(xué)、電學(xué)和熱學(xué)同步實(shí)時(shí)原位探測(cè)功能模塊，可同時(shí)原位探測(cè)磁學(xué)、電學(xué)和熱學(xué)參數(shù)，實(shí)現(xiàn)了磁-電、磁-熱、電-熱同步實(shí)時(shí)原位探測(cè)功能的多參量耦合聯(lián)用功能。課題組使用該系統(tǒng)開(kāi)展了BiFeO3-CoFe2O4自組裝納米復(fù)合薄膜材料中電場(chǎng)原位調(diào)控磁性的研究，為新型低功耗高密度存儲(chǔ)器件的研究奠定了實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。

　　“高離化率磁控濺射(HIPIMS)復(fù)合受控陰極電弧鍍膜裝置”項(xiàng)目通過(guò)對(duì)高功率磁控管模塊、受控陰極電弧源模塊、HIPIMS電源、關(guān)鍵子系統(tǒng)、PLC控制等的設(shè)計(jì)優(yōu)化和適配加工，研制出了一套具有核心專(zhuān)利技術(shù)的高功率脈沖磁控濺射復(fù)合受控陰極電弧鍍膜裝置，該裝備具有離化率高、放電穩(wěn)定、繞射性好、大面積均勻、運(yùn)行可靠的特點(diǎn)。利用該裝置，不僅實(shí)現(xiàn)了以TiAlSiN與DLC為主的兩類(lèi)目標(biāo)硬質(zhì)涂層材料高質(zhì)量制備；且光譜與探針原位診斷表明，HIPIMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)了金屬Ti的離化率達(dá)80%，等離子體密度達(dá)1019/m3。另外，該裝置具有良好功能拓展性，能實(shí)現(xiàn)CrB2超硬涂層和高純MAX相防護(hù)涂層的設(shè)計(jì)與制備。

　　寧波材料所副所長(zhǎng)瞿榮輝等一同參加了驗(yàn)收會(huì)。

驗(yàn)收會(huì)現(xiàn)場(chǎng) 

“納米磁-電-熱多參量耦合原位表征系統(tǒng)”項(xiàng)目測(cè)試現(xiàn)場(chǎng) 

“高離化率磁控濺射(HIPIMS)復(fù)合受控陰極電弧鍍膜裝置”項(xiàng)目測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)