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中國科學(xué)院微電子所攜手愛發(fā)科共建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室

作者： 2017年06月20日來源：中國儀表網(wǎng) 瀏覽量：

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【中國儀表網(wǎng)儀表產(chǎn)業(yè)】近日，中國科學(xué)院微電子研究所與日本愛發(fā)科集團(tuán)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室簽字儀式在中科院微電子所會議室隆重舉行。　　中科院微電子所所長葉甜春，副所長劉新宇，處長王文武，愛發(fā)科集團(tuán)代表取締役執(zhí)行役員

　　【中國儀表網(wǎng) 儀表產(chǎn)業(yè)】近日，中國科學(xué)院微電子研究所與日本愛發(fā)科集團(tuán)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室簽字儀式在中科院微電子所會議室隆重舉行。

　　中科院微電子所所長葉甜春，副所長劉新宇，處長王文武，愛發(fā)科集團(tuán)代表取締役執(zhí)行役員社長小日向久治，執(zhí)行役員齊藤一也，室長鄒弘綱，愛發(fā)科(蘇州)技術(shù)研究開發(fā)有限公司總經(jīng)理?xiàng)畋阮I(lǐng)導(dǎo)以及來半導(dǎo)體領(lǐng)域的各企業(yè)專家包括北京耐威科技、歌爾聲學(xué)股份、中芯國際、上海華宏宏力、華潤微電子、中科微機(jī)電技術(shù)、中科漢天下、華進(jìn)半導(dǎo)體封裝公司等研究者約50人出席并見證了簽字儀式。

　　株式會社ULVAC是以在各領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用的真空技術(shù)為基礎(chǔ)，以開創(chuàng)精細(xì)加工工藝為追求目標(biāo)的研究開發(fā)綜合企業(yè)。其產(chǎn)品從FPD，電子半導(dǎo)體，太陽電池作用的真空設(shè)備到標(biāo)準(zhǔn)零部件，材料及真空鍍膜等業(yè)務(wù)。目前在中國已經(jīng)設(shè)立了15家公司，未來在中國的投資還會不斷擴(kuò)大，在以電子技術(shù)和通訊技術(shù)為首的包括能源、環(huán)保、運(yùn)輸、醫(yī)藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領(lǐng)域中，株式會社ULVAC以設(shè)備生產(chǎn)為中心，提供先進(jìn)的真空技術(shù)產(chǎn)品，優(yōu)質(zhì)完善的服務(wù)，不斷滿足顧客的需求。

　　這次成立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，雙方運(yùn)用中科院微電子所擁有的微電子器件有關(guān)的技術(shù)和愛發(fā)科集團(tuán)擁有的與真空鍍膜設(shè)備及工藝技術(shù)有關(guān)的技術(shù)，在MEMS、存儲器、功率器件及傳感器領(lǐng)域，針對開發(fā)主題共同實(shí)施開發(fā)，互相協(xié)助力求其實(shí)用化。雙方一致認(rèn)為，雙方具有非常強(qiáng)的優(yōu)勢互補(bǔ)關(guān)系，是充分發(fā)揮雙方各自特長、實(shí)現(xiàn)產(chǎn)學(xué)研無縫對接、可同時滿足核心技術(shù)研究和產(chǎn)業(yè)化需要的最佳途徑。雙方將成立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，在資源共享、技術(shù)開發(fā)、人才交流與培訓(xùn)等方面進(jìn)行深入合作，以支持和推動在相關(guān)核心技術(shù)方面的研究和積累。聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室將成為雙方合作的窗口和新技術(shù)科研成果的實(shí)驗(yàn)基地。

　　聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室將利用ULVAC制造 SME-200型濺射設(shè)備開展微電子工藝開發(fā)，ULVAC SME-200設(shè)備是一款多功能濺射設(shè)備，最多可以搭載八個腔室，可針對研究開發(fā)和少量生產(chǎn)用途，在8inch Si基板上進(jìn)行沉積金屬，氧化物，氮化物薄膜等先進(jìn)材料，設(shè)備可實(shí)現(xiàn)全自動搬送、數(shù)據(jù)自動存儲、保證工藝結(jié)果穩(wěn)定性等功能。通過利用該設(shè)備，雙方將在MEMS、存儲器、功率器件及傳感器等領(lǐng)域展開工藝研發(fā)合作。

　　聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室的成立，體現(xiàn)了愛發(fā)科集團(tuán)大力推進(jìn)本土化產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略方針。與中科院微電子所共同合作，針對中國正在大力發(fā)展的電子半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，提高研發(fā)實(shí)力，加快推進(jìn)前沿技術(shù)產(chǎn)業(yè)化，以產(chǎn)學(xué)研結(jié)合的模式，實(shí)施人才與科技創(chuàng)新雙輪驅(qū)動戰(zhàn)略，為國內(nèi)的半導(dǎo)體企業(yè)提供技術(shù)支持、工藝驗(yàn)證的平臺。

　　這次簽字儀式的獲得圓滿成功，期待著愛發(fā)科集團(tuán)與中科院微電子所合作的積極進(jìn)展結(jié)果，將推動中國半導(dǎo)體MEMS傳感器技術(shù)實(shí)現(xiàn)跨越式發(fā)展。

　　(原文標(biāo)題：微電子所與愛發(fā)科集團(tuán)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室簽字儀式隆重舉行)

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