基于NanoFocus 技術（多孔共聚焦）的μsurf傳感器技術。在幾秒鐘內，獲得微觀和納米范圍內的形貌、粗糙度和層厚度。
這個NanoFocus聚焦共焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多針孔盤、具有壓電驅動器的物鏡和CCD攝像機。
LED光源通過多針孔光盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面，反射光。反射光通過MPD的針孔減小到聚焦的部分，最后落在CCD相機上。
傳統光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節。相反，在共焦圖像中，通過多針孔盤的操作濾除模糊細節（未聚焦）。只有來自焦平面的光到達CCD相機。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高分辨率。
每個共聚焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片。在不同焦距處捕獲圖像產生這樣的圖像堆棧，由共聚焦顯微鏡通過壓電驅動使物鏡精確垂直位移來實現。通常在幾秒鐘內捕獲200-400個共聚焦圖像，之后軟件從共聚焦圖像堆棧重建精確的三維高度圖像。
μsurf技術在微米和納米范圍的技術表面表征方面具有許多優點。
與SEM（X，Y）相反，μSURF提供真實三維坐標（x，y，z）中的數據。只有這些定量數據才能夠對三維表面參數進行精確的分析，從而傳遞關于表面紋理的更大范圍的信息。μSurf系統的測量不需要以前的樣品制備。
在許多工業部門中，標準的測量方法是觸覺掃描。美國國家標準與技術研究所（NIST）進行的一項獨立的第三方研究表明，μsurf技術與觸覺系統的相關性最高（99%）。此外，要檢查的材料的硬度的差異是不相關的，因為系統在不接觸和破壞表面的情況下工作。
μsurf一目了然特點可以概括為以下幾點：
1.NanoFocus擁有自己的特有的技術和發展前景
2.其快速的數據采集
3.在納米范圍內仍然擁有超高的分辨率
4.全面的測量數據并且保證精確度
5.無樣品制備
6.其非接觸性測量也很好保證產品表面不被破壞。
7.獲得真實三維測量數據
8.獨立于材料特性如顏色、可靠性或硬度
9.測量符合DIN