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“HR-ICPMS測試無機(jī)雜質(zhì)檢測方法”項目順利通過驗收

作者： 2019年11月28日來源：中國儀表網(wǎng) 瀏覽量：

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為了提高我國的計量檢定和檢測技術(shù)水平，上海市計量測試技術(shù)研究院在計量基標(biāo)準(zhǔn)器的研制和建立中也不斷取得成績。研制并建立的部分計量基準(zhǔn)、計量標(biāo)準(zhǔn)裝置已經(jīng)達(dá)到了國內(nèi)或國際同類裝置的較好水平。

　　據(jù)悉，近日，國家市場監(jiān)督管理總局科技和財務(wù)司組織專家對上海計量測試技術(shù)研究院承擔(dān)的總局科技計劃項目“HR-ICPMS測試高純有機(jī)試劑中無機(jī)雜質(zhì)檢測方法與應(yīng)用研究”(項目編號：2017QK085)進(jìn)行了驗收。驗收專家組認(rèn)為項目達(dá)到了規(guī)定的考核指標(biāo)，一致同意項目通過驗收。

　　該項目建立了HR-ICPMS測試高純有機(jī)試劑中無機(jī)雜質(zhì)的方法，參與了國家標(biāo)準(zhǔn)的編寫，綜合技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平，滿足對高純有機(jī)試劑的檢測要求。項目成果已應(yīng)用于高純有機(jī)試劑企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量控制、雜質(zhì)檢測及方法驗證。

　　HR-ICPMS技術(shù)原理就是，ICP-MS將ICP離子源與MS檢測技術(shù)完美結(jié)合的無機(jī)分析技術(shù)，Inductively Coupled Plasma(ICP)離子源是利用高溫等離子體(Ar)將樣品中待分析的元素離子化成為帶電荷離子的裝置，而Mass Spectrometer(MS)質(zhì)譜是帶電離子按照質(zhì)荷比(質(zhì)量/荷電，m/q或m/z)的大小順序排列。

　　項目成果的應(yīng)用與推廣將加快我國高純試劑標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)的步伐，為提升高純試劑特別是集成電路和生物醫(yī)藥用高純試劑質(zhì)量提供技術(shù)支撐。

　　正超凈高純試劑是集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路(VLSI)制造過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一,主要用于芯片的清洗和腐蝕。具有品種多、用量大、技術(shù)要求高等特點。在現(xiàn)階段,集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路(VLSI)制造過程中,仍普遍沿用濕法工藝。因此,超凈高純試劑在電路制造中更不失其重要意義。

　　資料來源：百度學(xué)術(shù)、上海市計量測試技術(shù)研究院

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標(biāo)簽：HR ICPMS 高純有機(jī)試劑無機(jī)雜質(zhì)

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