KAUST公司的科學家開發了一種微米級、低功耗的壓力傳感器
作者： 2020年03月09日 來源：傳感器專家網 瀏覽量：
字號：T | T
據外媒報道，近日，KAUST公司的科學家開發了一種微米級、低功耗的壓力傳感器，在真空環境中具有潛在的應用前景。
據外媒報道，近日，KAUST公司的科學家開發了一種微米級、低功耗的壓力傳感器，在真空環境中具有潛在的應用前景。
該小組設計的壓力傳感器工作范圍廣、靈敏度高。
當今，傳感器是計算機、機器人等自動化系統與其環境之間的接口。傳感器測量光、溫度、運動、質量、壓力、位置等，目前市場與應用對傳感器的需求是希望他們更小，以便能夠將他們集成到便攜式產品中。例如，壓力傳感器可用于工業控制、醫療保健、醫療測試和氣象學，根據不同的應用，這些壓力傳感器需要對微小的變化敏感，對這些變化反應迅速，并能在較大的壓力范圍內工作。
現在，Nouha Alcheikh、Amal Hajjaj和Mohammad Younis開發出一種靈敏的壓力微傳感器，該傳感器基于硅振動梁，硅振動梁只有800微米長、25微米寬和1.5微米厚。Alcheikh表明：“我們已經開發出一種可擴展且靈敏的微壓力傳感器，它可以在納米系統中的更大壓力范圍內工作。”
在實驗研究中，懸梁將以共振頻率振動，共振頻率由其質量、長度、密度和剛度決定。當電流通過振動梁時，它會變得更熱并開始彎曲。這種增加的曲率增加了振動梁的剛度，從而移動了共振頻率。振動梁周圍的空氣使其冷卻：壓力越高，空氣越多，冷卻效果越好。因此，可以電測量的振動梁的共振頻率與壓力有關。該小組制造的裝置在廣泛的壓力范圍內工作，從0.038托到200托(大氣壓是760托)，壓力傳感器的靈敏度為2689 x 10-6/Torr。
研究小組還表明，這種壓力微傳感器可以通過改變振動梁的厚度來適應特定的應用。他們模擬了振動梁的運行，以證明對于較薄的微振動梁，靈敏度變得更高，但較厚的振動梁消耗更多的能量。因此，可以根據裝置的目標環境，計算出在低壓或高壓下的靈敏度的厚度。
Alcheikh說：“得益于KAUST先進的設施，我們很幸運能夠探索出一些新的想法，比如這種新穎的壓力傳感器。我希望繼續利用這一機會，將這一設備概念推向商業化。”
文章鏈接：儀表網 http://www.ybzhan.cn/news/detail/81049.html
該小組設計的壓力傳感器工作范圍廣、靈敏度高。
當今，傳感器是計算機、機器人等自動化系統與其環境之間的接口。傳感器測量光、溫度、運動、質量、壓力、位置等，目前市場與應用對傳感器的需求是希望他們更小，以便能夠將他們集成到便攜式產品中。例如，壓力傳感器可用于工業控制、醫療保健、醫療測試和氣象學，根據不同的應用，這些壓力傳感器需要對微小的變化敏感，對這些變化反應迅速，并能在較大的壓力范圍內工作。
現在，Nouha Alcheikh、Amal Hajjaj和Mohammad Younis開發出一種靈敏的壓力微傳感器，該傳感器基于硅振動梁，硅振動梁只有800微米長、25微米寬和1.5微米厚。Alcheikh表明：“我們已經開發出一種可擴展且靈敏的微壓力傳感器，它可以在納米系統中的更大壓力范圍內工作。”
在實驗研究中，懸梁將以共振頻率振動，共振頻率由其質量、長度、密度和剛度決定。當電流通過振動梁時，它會變得更熱并開始彎曲。這種增加的曲率增加了振動梁的剛度，從而移動了共振頻率。振動梁周圍的空氣使其冷卻：壓力越高，空氣越多，冷卻效果越好。因此，可以電測量的振動梁的共振頻率與壓力有關。該小組制造的裝置在廣泛的壓力范圍內工作，從0.038托到200托(大氣壓是760托)，壓力傳感器的靈敏度為2689 x 10-6/Torr。
研究小組還表明，這種壓力微傳感器可以通過改變振動梁的厚度來適應特定的應用。他們模擬了振動梁的運行，以證明對于較薄的微振動梁，靈敏度變得更高，但較厚的振動梁消耗更多的能量。因此，可以根據裝置的目標環境，計算出在低壓或高壓下的靈敏度的厚度。
Alcheikh說：“得益于KAUST先進的設施，我們很幸運能夠探索出一些新的想法，比如這種新穎的壓力傳感器。我希望繼續利用這一機會，將這一設備概念推向商業化。”
文章鏈接：儀表網 http://www.ybzhan.cn/news/detail/81049.html
全球化工設備網（http://m.shaipo.cn ）友情提醒，轉載請務必注明來源:全球化工設備網！違者必究.
相關資訊
免責聲明：1、本文系本網編輯轉載或者作者自行發布，本網發布文章的目的在于傳遞更多信息給訪問者，并不代表本網贊同其觀點，同時本網亦不對文章內容的真實性負責。
2、如涉及作品內容、版權和其它問題，請在30日內與本網聯系，我們將在第一時間作出適當處理！有關作品版權事宜請聯系：+86-571-88970062
2、如涉及作品內容、版權和其它問題，請在30日內與本網聯系，我們將在第一時間作出適當處理！有關作品版權事宜請聯系：+86-571-88970062
推薦資訊
- 上海熊貓集團與新疆天澤水投簽署戰略合作協議
- 總投資2.1億元！臥龍鑄造年產1萬噸耐腐泵閥鑄件加工廠房項目盛大開工
- 合肥華運機械出口俄羅斯礦用軟管閥制造完成，為中俄礦業合作注入新動能
- 上海自儀多個領域取得重大突破
- 京津冀最大規模CCUS項目“吃”碳又“吐”油 累計注入二氧化碳超20萬噸 驅油效率較常規注氣重力
- 中國化學簽署哈薩克斯坦首個煤制氣項目合作協議
- 創力傳動助力上鼓透平解析氣壓縮機和氨氣壓縮機一次開車成功
- 沈鼓11萬空分裝置壓縮機組賦能寶豐全球最大煤制烯烴項目高效投產
- 興核智控預計出口額達2000萬至3000萬元，年產值邁過3億大關！
- 年產成品閥門10萬余套！保俐鑄造計劃無燈工廠生產方式
- 《工業閥門 閥門用齒輪箱》GB/T 44519-2024正式實施
- IMI通過3D打印升級閥門內件提升中國電廠設備運行時間與效率