《碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質(zhì)含量的測(cè)量 二次離子質(zhì)譜法》意見(jiàn)征求
作者： 2020年11月10日 來(lái)源：全球化工設(shè)備網(wǎng) 瀏覽量：
字號(hào)：T | T
碳化硅材料是一種寬禁帶半導(dǎo)體，適合制備高電壓、高功率、高頻和高溫半導(dǎo)體電子器件，在微波通訊、雷達(dá)、電力電子等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景，對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和國(guó)防建設(shè)也具有重要意義。但是碳化硅
碳化硅材料是一種寬禁帶半導(dǎo)體，適合制備高電壓、高功率、高頻和高溫半導(dǎo)體電子器件，在微波通訊、雷達(dá)、電力電子等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景，對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和國(guó)防建設(shè)也具有重要意義。但是碳化硅中雜質(zhì)元素含量對(duì)碳化硅材料的研制生產(chǎn)起著非常重要的作用，特別是半絕緣碳化硅中氮雜質(zhì)元素的含量是其半絕緣性能的直接判定依據(jù)。
碳化硅中的雜質(zhì)元素對(duì)研制生產(chǎn)起著重要的作用，故而為獲得高純半絕緣特性的碳化硅晶體，必須對(duì)雜質(zhì)進(jìn)行嚴(yán)格的控制。目前雖然許多生產(chǎn)和使用碳化硅材料的企業(yè)都對(duì)碳化硅中雜質(zhì)含量測(cè)試提出了需求，但是尚無(wú)相關(guān)測(cè)試方法的標(biāo)準(zhǔn)或可借鑒的測(cè)試方法。為了改變這一情形，中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所起草編制了《碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質(zhì)含量的測(cè)量 二次離子質(zhì)譜法》。
《碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質(zhì)含量的測(cè)量 二次離子質(zhì)譜法》是按照GB/T 1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草的，其內(nèi)容包括有范圍、規(guī)范性引用文件、術(shù)語(yǔ)和定義、原理、干擾因素、試驗(yàn)條件、儀器設(shè)備、樣品、試驗(yàn)步驟、試驗(yàn)數(shù)據(jù)處理、精密度、試驗(yàn)報(bào)告，規(guī)定了碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質(zhì)含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)試方法。
閱讀標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)稿后可知，二次離子質(zhì)譜測(cè)試方法需要用到的儀器設(shè)備是扇形磁場(chǎng)二次離子質(zhì)譜儀，其原理是在高真空條件下，氧或銫離子源產(chǎn)生的一次離子，經(jīng)過(guò)加速、純化、聚焦后，轟擊碳化硅單晶樣品表面，濺射出多種粒子，將其中的離子引出后，通過(guò)質(zhì)譜儀將不同荷質(zhì)比的離子分開(kāi)，記錄并計(jì)算樣品中硼、鋁、氮與硅的離子計(jì)數(shù)率之比后，即可利用相對(duì)靈敏度因子定量分析并計(jì)算出碳化硅單晶中的硼、鋁、氮的含量。
鑒于碳化硅材料重要的戰(zhàn)略地位，在我國(guó)也受到極大的關(guān)注，國(guó)家在碳化硅材料科研及產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化都投入了非常大的力量，近兩年在國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目中都布局了碳化硅專(zhuān)項(xiàng)。目前，《碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質(zhì)含量的測(cè)量 二次離子質(zhì)譜法》正面向社會(huì)征求意見(jiàn)，希望相關(guān)單位能在仔細(xì)研核后提出建設(shè)性意見(jiàn)，為標(biāo)準(zhǔn)的進(jìn)一步完善添磚加瓦。
更多詳情請(qǐng)點(diǎn)擊：《碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質(zhì)含量的測(cè)量 二次離子質(zhì)譜法》征求意見(jiàn)稿
全球化工設(shè)備網(wǎng)（http://m.shaipo.cn ）友情提醒，轉(zhuǎn)載請(qǐng)務(wù)必注明來(lái)源:全球化工設(shè)備網(wǎng)！違者必究.
標(biāo)簽：
相關(guān)技術(shù)
免責(zé)聲明：1、本文系本網(wǎng)編輯轉(zhuǎn)載或者作者自行發(fā)布，本網(wǎng)發(fā)布文章的目的在于傳遞更多信息給訪問(wèn)者，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)，同時(shí)本網(wǎng)亦不對(duì)文章內(nèi)容的真實(shí)性負(fù)責(zé)。
2、如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)和其它問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)?0日內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，我們將在第一時(shí)間作出適當(dāng)處理！有關(guān)作品版權(quán)事宜請(qǐng)聯(lián)系：+86-571-88970062
2、如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)和其它問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)?0日內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，我們將在第一時(shí)間作出適當(dāng)處理！有關(guān)作品版權(quán)事宜請(qǐng)聯(lián)系：+86-571-88970062
推薦技術(shù)
- 搶占西部化工升級(jí)紅利！2025成都國(guó)際化工裝備博覽會(huì)展位火速搶訂
- 青海最大跨流域調(diào)水工程歷經(jīng)29年建設(shè)全面投運(yùn)
- Wilo-Drainlift SANI家族污水提升系統(tǒng)再添新成員
- 東方自控"雙伺服閥油動(dòng)機(jī)"順利通過(guò)安全完整性等級(jí)（SIL2）認(rèn)證
- 中通協(xié)壓縮機(jī)分會(huì)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)初稿討論會(huì)召開(kāi)
- 蘭州石化新材料產(chǎn)品亮相蘭洽會(huì)
- 東方物探深耕海洋鍛造國(guó)際“尖兵”
- 大慶鉆探補(bǔ)孔壓裂施工日增氣5萬(wàn)方
- Groth雙功能閥門(mén)在泄壓和阻火技術(shù)領(lǐng)域樹(shù)立新標(biāo)準(zhǔn)
- 2025年第二季度通用機(jī)械企業(yè)動(dòng)態(tài)匯總
- 電子行業(yè)3項(xiàng)推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)報(bào)批公示
- ECI歐洲鑄造工業(yè)有限公司與康威金屬制品簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議
網(wǎng)站地圖 - 關(guān)于我們 - 誠(chéng)聘英才 - 幫助中心 - 法律聲明 - 展會(huì)合作 - 本網(wǎng)動(dòng)態(tài) - 服務(wù)項(xiàng)目 - 會(huì)員服務(wù) - 網(wǎng)站建設(shè)
廣告咨詢：
客戶服務(wù):
友情鏈接:
服務(wù)熱線：0571-88970062 傳真：0571-88971936
客服郵件：service#chemsb.com 銷(xiāo)售郵件：sales#chemsb.com 投稿郵件：info#chemsb.com 版權(quán)所有©全球化工設(shè)備網(wǎng)