真空泵廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業，按結構分類，可分為機械式真空泵，噴射式真空泵，吸著式真空泵。

機械式真空泵的種類很多,且屬于輸送氣的機械,其動力性能、結構強度等均與壓縮機有許多類似之處。

(一)往復式真空泵

往復真空泵是最古老的結構形式,其結構堅固、運行可靠、對水分不敏感,極限壓力為(1~2.6)kPa,抽速范圍為(50-600)L/S,主要用于大型粗真空系統,如真空干燥、真空過濾、真空濃縮、真空蒸餾、真空結晶以及其他氣體抽除等。往復真空泵不適于抽除含塵或腐蝕性氣體,除非經過特殊處理。

往復真空泵由氣缸、活塞組成的工作腔部分與由曲軸、連桿、十字頭、活塞桿等傳動部分構成。控制氣體吸進與排出氣缸的閥門有自動閥與強制閥兩種。

(二)油封回轉式真空泵

油封回轉式真空泵可直接用作抽氣也可作為其他主泵的前級泵,極限壓力為6×10-4Pa,抽速0.5-150L/S。

油封回轉式真空泵主要有旋片式、定片式、滑閥式等三種結構型式，其特點是:用油使泵體與排氣系統隔開,可防止排出氣體向泵內回(故稱為油封式)，泵內必須設置油分離裝置,以分離排氣時帶走的潤滑油;一般情況下仍難以將油蒸汽徹底清除所以對真空系統和周圍環境會造成油污染。

(三)液環式真空泵

液環式真空泵在煉油化工生產中經常使用,是利用葉輪旋轉時形成液環與葉片間容積周期性變化而抽吸氣體。液環式真空泵也稱納氏泵,因為大多數場合用水作為工作液體故常稱為水環式真空泵。其結構簡單，工作可靠，可抽吸含固體微粒、水或易燃、易爆的氣體根據氣體性質采用合適的工作液體也可用抽吸腐蝕性氣體。當用水為工作液體時,不會污染環境與真空系統，單級極限壓力為104pa,雙級可達103pa,最大抽速達500L/S。其缺點是液力損失大、效率低,水力效率約為50%~70%。

（四)羅茨真空泵

羅茨真空泵,兩個8字形的轉子以相同反方向旋轉,氣體自入口被帶至出口。羅茨真空泵的抽速范圍為(30~3)×104/s，一級極限壓力約為1~10Pa，且在1~102pa壓力范圍內具有較大的穩定抽速，故又稱為快速真空泵;羅茨真空泵常作為噴射泵與油擴散泵的前級泵起增壓作用,故又稱為機械增壓泵。

羅茨真空泵轉子葉型間隙：小型為0.1~0.2mm,大型為0.2~0.4mm，因此對氣體中含有塵埃、纖維，水分等不敏感，但不適宜抽吸有腐蝕性或易燃、易爆氣體。羅茨泵工作腔內無摩擦零件，無需油進行潤滑，不會出現油污染。

當壓力比高時，其排氣溫度可能很高，因此需用水進行冷卻，冷卻水管設在泵的排氣口。