當前位置：全球化工設備網 > 資訊 > 行業動態 > 正文

艾默生全新揭秘TESCOM 10-X系列調壓閥,扛住高精度氣壓控制挑戰！

作者： 2024年11月22日來源：瀏覽量：

字號：T | T

作為半導體制造流程中的重要環節，刻蝕工藝與化學氣相沉積（CVD）工藝不僅決定了器件的結構與特性，還確保了制造過程的可控性和重復性，從而保障產品的一致性和良品率。隨著半導體行業新材料、新技術的不斷更新迭代

作為半導體制造流程中的重要環節，刻蝕工藝與化學氣相沉積（CVD）工藝不僅決定了器件的結構與特性，還確保了制造過程的可控性和重復性，從而保障產品的一致性和良品率。

隨著半導體行業新材料、新技術的不斷更新迭代，如何滿足更高的制造工藝標準，成為了半導體制造商獲得市場競爭力的關鍵。

為了應對新的挑戰，艾默生全新上市TESCOM™ 10-X系列調壓閥，滿足高精度氣體壓力控制的需求，為蝕刻和化學氣相沉積（CVD）工藝保駕護航。

TESCOM™ 10-X系列調壓閥

高精度流體控制大師

在追求高精度與超高純度的半導體領域里，每一個細節都至關重要。艾默生作為嚴謹苛刻的“技術細節控”，全新上市的TESCOM™ 10-X系列調壓閥究竟有何獨到之處，滿足微型元件的嚴苛工藝標準？

穩壓守護，高靈敏精準調壓

TESCOM™ 10-X系列是微型超高純度和高精度的 IGS/VCR®減壓型調壓閥，適用于2至100標準升每分鐘（SLPM）的高純氣體，具備卓越的高靈敏度壓力控制能力，在廣泛的應用中提供優越性能，尤其適用于高級 OEM 氣體系統、氣箱和低壓氣柜等精密環境。

靈巧閥芯，硬核穩定性能

自由閥芯設計能夠有效減少磨損和卡滯風險，在微型元件中提供卓越的壓降和重復。膜片與閥體之間采用金屬對金屬密封，提供整體的高度密封性，降低泄露風險。

同時，閥體采用316L VAR不銹鋼材質，耐腐蝕、耐高溫，確保了調壓閥在嚴苛工況下的長期穩定性和耐久性。具有10 Ra微英寸的內部表面光潔度，有效減少了氣體流動過程中的摩擦和顆粒產生，能夠減少氣體中的雜質。這些設計顯著提升微電子元件制造工藝的總體可靠性，確保良率。

緊湊設計，超長使用壽命

簡化的負載機制和緊湊的設計結構，使設備能夠在有限的空間內靈活安裝，滿足了微電子元件制造對設備緊湊性的需求。憑借其高可靠性和簡易維護設計，能顯著減少設備停機時間，保持生產線的平穩運行。

在這些特質的加持下，TESCOM™ 10-X系列調壓閥能夠在嚴苛環境中保持穩定工作，成為了半導體制造的蝕刻和CVD工藝的理想選擇。

TESCOM™ 10-X系列調壓閥工作參數

密封類型	自由閥芯
入口壓力	150 PSIG
出口壓力	3 ~ 30、3 ~ 60 PSIG
流量	Cv 值 = 0.06/0.1
工作溫度	-40℃ ~ 60℃
閥體材料	316L VAR不銹鋼
隔膜材料	Hastelloy® C-22
閥座材料	聚三氟氯乙烯 (PCTFE) 或聚四氟乙烯 (PTFE)

在半導體制造的精密舞臺上，艾默生TESCOM™ 10-X系列調壓閥以其穩定的性能和對細節的執著，支撐著每一次工藝的精進。它的推出，是對技術純粹追求的滿分詮釋，也是對半導體行業不斷前行的有力見證。

全球化工設備網（http://m.shaipo.cn ）友情提醒，轉載請務必注明來源:全球化工設備網！違者必究.

標簽：

分享到：

相關資訊

免責聲明：1、本文系本網編輯轉載或者作者自行發布，本網發布文章的目的在于傳遞更多信息給訪問者，并不代表本網贊同其觀點，同時本網亦不對文章內容的真實性負責。
2、如涉及作品內容、版權和其它問題，請在30日內與本網聯系，我們將在第一時間作出適當處理！有關作品版權事宜請聯系：+86-571-88970062

推薦資訊

最新更新列表

全球化工设备网—化工设备,日韩在线成人,化工机械,一区二区电影,制药设备,亚洲欧美日韩系列,环保设备的专业网络市场。

艾默生全新揭秘TESCOM 10-X系列調壓閥,扛住高精度氣壓控制挑戰！

艾默生全新揭秘TESCOM 10-X系列調壓閥,扛住高精度氣壓控制挑戰！