對于潔凈室的塵源，除了來自室外大氣的塵粒和進入潔凈室的人和物攜帶的灰塵之外，潔凈室內的發塵源主要來自于潔凈室內操作人員，潔凈室的圍護和潔凈室內生產工藝設備和生產過程的產塵。
1、潔凈室內作業人員的產塵。作業人員的產塵與所穿的潔凈工作服的材料、型式、著裝情況和作業人員本身的動作有關。因此，潔凈室內的作業人員必須穿規定的工作服而且動作也要受到一定的限制。
通常情況下，一般電子裝配工藝穿全身型潔凈工作服輕微動作時，人員的產塵量為3.5 ~ 5.0×105個/人·分（≥0.5µm）。是潔凈室內的最主要的發塵源。
2、 潔凈室圍護和室內表面的產塵。隨著潔凈室裝修材料的發展，耐磨、抗靜電、少產塵的材料出現，潔凈室內建筑產塵量越來越小。一般認為潔凈室單位建筑面積產塵為3 ~ 5.0×104 /m2·分（≥0.5µm）。可見10平方米建筑產塵只相當一個作業人員的產塵量。
3、生產設備和生產過程的產塵：這一產塵量與設備和生產過程本身有直接關系。不同設備、不同生產工藝的產塵量差別極大。在日本的資料介紹，一臺電動機的產塵量大約為4.5 ~ 45×104個/臺·分（≥0.5µm）。