溫度傳感器在稱重衡器中的應用 我們都知道現在的電子衡器之所以能比較精確的測量出重物的重量，就是由于其配備了壓力傳感器的作用。但是我們在使用的過程中往往遇到高溫或是低溫，這些都影響到了衡器的準確度，因此就需要為衡器設計一個溫控系統，說簡單點就是加裝一個溫度傳感器，溫度過低時就升溫，溫度過高時就降溫，從而保證衡器的準確度。

     在微電子器件領域，針對SiC器件的研究較多，已經取得了較大進展，而在MEMS領域針對SiC器件的研究仍有許多問題亟待解決。在國內，SiC MEMS的研究非常少，因而進行SiC高溫MEMS壓力傳感器的研究具有開創意義。碳化硅(SiC)具有優良的耐高溫，抗腐蝕，抗輻射性能，因而使用SiC來制作壓力傳感器，能夠克服Si器件高溫下電學、機械、化學性能下降的缺陷，穩定工作于高溫環境，具有光明的應用前景。

      1 硬件系統用放置在腔體內的溫度傳感器測量恒溫箱內的溫度，產生的信號經過放大后輸出反饋信號，再用單片機進行采樣，由液晶顯示恒溫箱內的溫度，并通過溫度控制算法控制加熱裝置。所使用的單片機為STCl25408AD，自帶A／D轉換、EPROM功能，內部集成MAX810專用復位電路(外部晶振20 MHz以下時，可省外部復位電路),電子地磅價格，ISP(在系統可編程)／IAP(在應用可編程)，無需專用編程器可通過串口(P3．0／P3．1)直接下載用戶程序，數秒即可完成一片。硬件結構框圖如下圖所示。

        2 系統的控制模型電加熱裝置是一個具有自平衡能力的對象，可用一階慣性環節描述溫控對象的數學模型。G(S)=K/(t's+1) (1)式中：K為對象的靜增益；t’為對象的時間常數。目前工程上常用的方法是對過程對象施加階躍輸入信號，測取過程對象的階躍響應，然后由階躍響應曲線確定過程的近似傳遞函數。具體用科恩-庫恩(cohen-coon)公式確定近似傳遞函數。cohn-coon公式如下：k =△C/△M t’=1.5(t0．632-t0．28)式中：△M為系統階躍輸入,電子汽車衡；△C為系統的輸出響應；t0．28為對象上升曲線為O．28△C時的時間(單位：min)；t0．632為對象上升曲線為O．632△C時的時間(單位：min)；從而求得K=O．96，t’=747 s。所以恒溫箱模型為：G(S)=0.96/(747S+1) (2)。