我國產業發展和升級使得微電子、微機械、光學和現代超精密加工工業對檢測精度的要求越來越高，同時要求更大的檢測量程，而其他檢測方法難以勝任，只有激光干涉檢測技術可以在大量程內達到較高的測量精度，所以在高端制造領域得到廣泛應用。

在航空器的研制、試驗、生產過程中，運用到大量的精密直線位移傳感器，激光干涉儀可以對這些傳感器進行精準的檢測

中圖儀器推出的SJ6000激光干涉儀，采用進口高穩頻氦氖激光器、雙縱模熱穩頻技術、多參數環境補償技術、高速數字信號處理系統等技術，通過與不同的光學組件結合，實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。是校準數控機床、三坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標最常用的標準儀器。

1、在數控機床檢定中的應用

SJ6000激光干涉儀可用于精密機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度的測量，為機床誤差修正提供依據。軟件內置10項常用機床檢驗標準。使用激光干涉儀檢測機床各項誤差并進行修正是傳統測量手段難以實現的技術，是大幅度提高數控機床的加工精度的關鍵措施。

數控機床軸定位精度、重復定位精度的檢測

2、在三坐標檢測中的應用

SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標測量機的位移精度、直線度、垂直度。隨著當代制造業對加工速度的要求提升，三坐標測量機各結構件由于高速運行產生機構變形，導致的動態誤差不可忽略。使用激光干涉儀對三坐標測量機進行靜態誤差、動態誤差測量和補償，對提升測量精度具有重要意義。

三坐標線性精度、垂直度的檢測

3、在位移傳感器中的應用

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發展趨勢，其特點是反應速度快、測量精度高，是位移傳感器實現高精度校準的重要手段。

傳感器線性精度的測量

4、與其他鏡組配合的應用

SJ6000激光干涉儀與不同光學組件結合，可以實現距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數的測量，具有極高的精度和效率。

測長機線性精度、垂直度的測量

工業機器人標定

汽車裝配與夾具定位

SJ6000激光干涉儀技術參數：

技術線性測長精度：±0.5ppm(0~40℃)

激光穩頻精度：0.05ppm

分辨率：0.001um