小型金屬濺射鍍膜機優(yōu)點
作者：宋工 來源：原創(chuàng) 2023-10-26 瀏覽量：109
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鄭科探小型濺射儀功能優(yōu)勢
鄭科探小型濺射儀功能優(yōu)勢
1、樣品臺旋轉(zhuǎn)，多樣品同時鍍膜時，鍍膜厚度比較均勻。
2、預(yù)濺射擋板功能，剛開始鍍膜的時候腔室里會有些雜質(zhì)，擋板可以保護樣品，提高薄膜質(zhì)量
3、帶有水冷系統(tǒng)，可以長時間濺射鍍膜，厚度可達1微米以上。
4、直流磁控濺射，提高附著力，濺射速率快，比離子濺射快上一個量級。針對某些金屬最快能達到1-2納米每秒，
5、不但可以電鏡制樣，還可以制作金屬電極。
6、可擴展膜厚監(jiān)測，監(jiān)測薄膜厚度。
濺射儀使用需注
1 靶材需要良好的導(dǎo)電性, 如果具備這個條件 可以鍍
2 遇到容易氧化的金屬 需要配備分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氬氣維持真空到1Pa左右鍍膜的金屬接近本色