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微型真空探針臺 氣敏光學電信息測試的簡單介紹

微型真空探針臺是一種用于測試光學電信號的設備,它具有體積小、重量輕、操作簡便、可重復使用等優點,廣泛應用于半導體、太陽能等領域

微型真空探針臺 氣敏光學電信息測試的詳細信息

微型真空探針臺是一種用于測試光學電信號的設備,它具有體積小、重量輕、操作簡便、可重復使用等優點,廣泛應用于半導體、太陽能等領域。本文將詳細介紹微型真空探針臺的結構、工作原理、操作方法以及應用領域。

技術參數;

真空腔體

類型

高溫型室溫到400 KT-Z165M4RT

腔體材質

304不銹鋼

腔體內尺寸

135mmX57mmX21mm 容積165ML

腔體重量

2KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規格可轉接)

腔體進氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體正壓

0.05MPa

腔體真空度

機械泵5Pa 5分鐘 分子泵≤5E-3Pa30分鐘

樣品臺

樣品臺材質

不銹鋼

樣品臺尺寸

30x30mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

樣品臺-視窗 距離

10mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400

樣品臺測溫誤差

±0.2

樣品臺升溫速率

高溫20/min 最大值 低溫7/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1

溫控精度

±0.2

溫度信號輸入類型

PT100 可選K S B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

輔助功能

溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

5.6KG

探針

電信號接頭

配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 選其一

線長1.2

電學性能

絕緣電阻 4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 10pA

探針數量

4探針(可擴展6探針)

探針材質

鎢合金探針 (其他材質可選

探針尖

50μm (其他規格可選

手動探針移動平臺

X軸移動行程

15mm ±7.5mm(需手動推動滑臺)

X軸控制精度

500μm

R軸移動行程

120° ±60°(需手動旋轉探針桿)

R軸控制精度

500μm

Z軸移動行程

2mm ±1mm

Z軸控制精度

50μm(需手動螺紋調節探針桿)

微型真空探針臺主要由針頭、真空室、控制系統和測量系統等組成。針頭是探針臺的核心部件,它由一組金屬針組成,可以實現對樣品的精確測量。真空室是用于放置樣品的容器,它必須能夠保持高真空狀態,以確保測試的準確性。控制系統用于控制探針臺的各項操作,包括針頭的移動和樣品的放置等。測量系統則用于測試樣品的性能,包括光學和電學性能等

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