序號(hào)

設(shè)備名稱(chēng)

技術(shù)指標(biāo)

單位

數(shù)量

預(yù)算金額（萬(wàn)元）

是否接受進(jìn)口產(chǎn)品

1

石墨烯專(zhuān)用CVD系統(tǒng)

1、爐體結(jié)構(gòu)：高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有極好的溫度均勻性。
*內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
*爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對(duì)外釋放.
*密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作。
2、電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲) 
3、加熱溫度: 最高溫度: 1100°C
 連續(xù)溫度: 1000°C
4、加熱區(qū): 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm
 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
 選擇: 雙溫區(qū)爐可獲得t 240mm 的恒溫區(qū)
5、石英管: 外管: OD100 x ID 96 x 1400, mm
 內(nèi)管: OD80 x ID 75 x 1800 mm 一對(duì) SS304不銹鋼法蘭，通過(guò)用兩個(gè)高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。
爐子底部裝有一對(duì)滑軌
爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻。
為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預(yù)熱，然后滑到放置樣品的位置。
6、混氣系統(tǒng)：4路精密質(zhì)子流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制.
 MFC 1范圍: 0~100 sccm
 MFC 2范圍: 0~200 sccm
 MFC 3范圍: 0~200 sccm
 MFC 4范圍: 0~500 sccm
 氣路: 4 路
 流量精度: 0.2%
 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套
 一個(gè)混氣罐.
 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。
 通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量.
7、真空泵： 安裝在移動(dòng)架底部的機(jī)械泵，真空度達(dá) 10-3 Torr.
 真空泵與手動(dòng)擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 .
 數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上.
8、極限真空度: 10^-2 torr (配機(jī)械泵)
9、爐體: 550 x 380 x 520,移動(dòng)架: 600x600x597
一年質(zhì)保期 ,CE 認(rèn)證
10、耗材：生長(zhǎng)石墨烯的銅箔5kg寬150mm，厚 25um，銅箔5kg寬150mm，厚 9um，鎳箔 (20m length x 150mm width x 25um thickness)，甲烷一瓶(含鋼瓶)，氬氣一瓶(含鋼瓶)

套

1

11.3

否

2

全方位行星式球磨機(jī)

*1.主輪傳動(dòng)方式：皮帶傳動(dòng)（進(jìn)口皮帶）；

*2.行星輪傳動(dòng)方式：增強(qiáng)型含油尼龍齒輪傳動(dòng)；

3.工作方式：兩個(gè)或四個(gè)球磨罐同時(shí)工作；

4.最大裝樣量：球磨罐容積的三分之二；

5.進(jìn)料粒度：土壤料≤10mm，其他料≤3mm；

*6.出料粒度：最小可達(dá)0.1um；

7.轉(zhuǎn)速比（公轉(zhuǎn)：自轉(zhuǎn)）：1：2；

8.轉(zhuǎn)速(自轉(zhuǎn))：0～580轉(zhuǎn)/分；

*9.運(yùn)行模式：球磨機(jī)由變頻器控制共有五種運(yùn)行模式：

  9.1、單向運(yùn)行，不定時(shí)停機(jī)；

  9.2、單向運(yùn)行，定時(shí)停機(jī)；

  9.3、正、反向交替運(yùn)行，定時(shí)停機(jī)；

  9.4、單向間隔運(yùn)行，定時(shí)停機(jī)；

  9.5、正、反向交替間隔運(yùn)行，定時(shí)停機(jī)；

10.調(diào)速方式：變頻調(diào)速0～50Hz，分辨率1Hz，本機(jī)限速0～45Hz；

*11.控制方式：變頻無(wú)級(jí)調(diào)速、程控控制，隨時(shí)手動(dòng)調(diào)節(jié)、1～999分鐘定時(shí)運(yùn)行，1～300分鐘定時(shí)正反轉(zhuǎn)，1～999分鐘定時(shí)間隔運(yùn)行，0～100次重啟動(dòng)運(yùn)行；

12.功率：0.75kw；

13.最大連續(xù)工作時(shí)間（滿(mǎn)負(fù)荷）：48小時(shí)；

14.外形設(shè)計(jì)：控制面板在球磨系統(tǒng)安全罩正上方，便于操作，結(jié)構(gòu)緊湊，美觀大方；

15.配件：500ml瑪瑙球磨罐一套4個(gè)（配瑪瑙球）；500ml陶瓷球磨罐一套4個(gè)（配陶瓷球）；500ml尼龍球磨罐一套4個(gè)（配氧化鋯球）；500ml不銹鋼球磨罐一套4個(gè)（配不銹鋼球）；500ml聚四氟乙烯球磨罐一套4個(gè)（配聚四氟乙烯球）；100ml瑪瑙球磨罐4個(gè)（配瑪瑙球）帶真空套；50ml瑪瑙球磨罐4個(gè)（配瑪瑙球）帶真空套；

*16.穩(wěn)定性要求：球磨機(jī)國(guó)內(nèi)知名品牌口碑良好，性能穩(wěn)定，使用壽命長(zhǎng)；

*17.需提供廠(chǎng)家資料及授權(quán)，以便售后維修服務(wù)；

18.標(biāo)注“*”為實(shí)質(zhì)性指標(biāo)必須滿(mǎn)足。

套

1

6.50

否

3

等離子增強(qiáng)化學(xué)沉積系統(tǒng)

一、真空腔室
*1. 極限真空度：≤6.67x10-6 Pa (經(jīng)烘烤除氣后)；
 2. 系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；系統(tǒng)從大氣開(kāi)始抽氣，40分鐘可達(dá)到 6.6x10-4 Pa；停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度：≤5 Pa；
 3. 工作真空度：1～1000Pa；系統(tǒng)主要由真空反應(yīng)室、上蓋組件、熱絲架、基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量及電控系統(tǒng)等部分組成；
 4. 圓筒型真空室尺寸：Ф400mm x300mm，電動(dòng)上掀蓋結(jié)構(gòu)，也可帶動(dòng)中間殼體升起，上蓋具有水冷結(jié)構(gòu)，中間殼體采用雙層夾壁水冷結(jié)構(gòu)，選用不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面進(jìn)行電解拋光處理，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封；
 5. 進(jìn)氣勻氣盤(pán)尺寸：Φ120mm，可使氣流均勻進(jìn)入反應(yīng)室； 耦合電極引入結(jié)構(gòu)；手動(dòng)進(jìn)氣截止閥門(mén)：1臺(tái)；內(nèi)外屏蔽罩，避免干擾其它儀器；加熱鎢絲：5根；
 6. 燈絲表面最高溫度：2000°C；安裝在基片與勻氣盤(pán)之間，可拆卸；熱絲與基片可在10～20mm之間調(diào)節(jié)；熱絲可加直流電源：80V，60A；
*7. 基片尺寸：可放置100mm基片；*基片加熱最高溫度 1000°C±1°C，由熱電偶閉環(huán)反饋控制； 
*8. 控制系統(tǒng)：1套。
二、氣路系統(tǒng)
   氣瓶柜2套，氣路柜一套，氣體處理系統(tǒng)，報(bào)警系統(tǒng)
1．氣瓶柜系統(tǒng)：
*1.1：硅烷、氫氣雙瓶柜1套 ，含閥門(mén)、管路、報(bào)警系統(tǒng)
*1.2：硼烷、磷烷雙瓶柜1套，含閥門(mén)、管路、報(bào)警系統(tǒng)
2．氣體處理：
2.1具有酸堿噴淋功能
2.2具有燃燒功能
2.3具有報(bào)警功能
2.4可處理氣體量：10 l/s
2.5加熱溫度800 ℃4
*3．控制系統(tǒng)1套。

套

1

67.5

否

4

金屬離子源

主要由陰極及其推進(jìn)系統(tǒng)、觸發(fā)電極、陽(yáng)極、等離子體擴(kuò)散筒、三電極引出系統(tǒng)、高壓絕緣柱和外屏蔽室等組成。離子源主要性能指標(biāo)如下：² 引出柵口徑：Φ100mm；
引出電壓：10～80kV連續(xù)可調(diào)；
離子束流：1～8 mA連續(xù)可調(diào)；
陰極弧脈沖頻率：0～50Hz可調(diào)；
束斑直徑≥Φ100mm；
工作真空度：優(yōu)于 1×10-2Pa；
適用靶材：所有的導(dǎo)電靶材如金屬靶材、合金靶材及半導(dǎo)體靶材等；
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于陰極材更換；
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于柵網(wǎng)更換。

套

1

25

否