1958年，世界上第一臺等離子噴涂設備在美國問世，使噴涂制備高熔點材料(比如陶瓷)涂層成為可能。該技術迅即在科技領域內作出了重要貢獻。隨著現代工業技術的高速發展，人們對各種零部件的性能要求越來越高，其表面處理越來越受到重視，因此對涂層質量要求也越來越高。由于陶瓷材料所具有的優異性能得到越來越多人的青睞，促進了噴涂工藝的不斷完善。世界上先進的工業國家先后在多種產品上噴涂不同的陶瓷涂層，提高了產品的使用性能和服役期限。如今，陶瓷涂層技術正在形成一個新興的、市場極廣闊的工業領域。正是這一市場需求，各式各樣陶瓷涂層噴涂沒備的研制工作正在廣泛展開。世界上等離子噴涂設備的發展正向自動化、集成化、嵌入生產流水線、柔性化、網絡化、乃至無人化和通過Internet遠程控制的方向發展。同時，等離子陶瓷涂層技術正帶動一系列高科技技術的發展和興起，如陶瓷涂層超導元件、陶瓷涂覆的生物醫學功能材料、永不磨損金剛石薄膜技術、新型超大規模集成電路、高輻射率節能涂層、波長吸收和抗干擾涂層等，發展前景極為廣闊。

　　相比世界先進水平，中國在這一領域還有一段距離。本文主要介紹氣穩等離子(ASP)噴涂設備DH-1080等離子噴涂系統及其應用。該系統由上海大豪英佛曼納米材料噴涂有限公司經過多年研究并制造，采用低壓大電流設計理念，使用PLC和MCU相結合的控制技術，與此相配套的有狀態點實時監測、LED智能顯示、PLC噴涂過程自動控制系統、三相大功率晶閘管全控整流技術，為新一代高效能等離子噴涂設備。

一、等離子噴涂技術簡介

　　等離子噴涂是熱噴涂技術領域中極為重要的一項工藝技術。目前熱噴涂用粉末材料幾乎都可以通過此方法制備成性能良好的涂層。等離子噴涂正在應用的有大氣等離子噴涂、可控氣氛等離子噴涂和液體穩定等離子噴涂方法，處于研究狀態的有脈沖、射頻和感應藕合等幾種等離子噴涂方法。

　　大氣等離子噴涂使用氬氣、氮氣、氫氣作為離子氣，經電離產生等離子高溫射流，將輸入的材料熔化或熔融噴射到工件表面形成涂層。主要用于制備金屬陶瓷、陶瓷涂層。在這種噴涂裝置上對噴涂槍進行改進發展了超音速等離子噴涂，該等離子焰流能量密度更高、焰流速度更快、涂層更加致密。可控氣氛等離子噴涂是將等離子噴槍置于密閉倉內，由機械手進行操作，將倉內抽至真空狀態的為真空等離子噴涂，倉內為低壓狀態的則為低壓真空等離子噴涂。這種1藝特點由于低壓和氣氛可控，等離子焰流加長，粒子加熱更充分，氧化減少，涂層的質量得到明顯改善，并且擴大了熱噴涂在沉積金剛石膜、超導氧化物涂層方面的應用。

　　二、新等離子噴涂設備系統組成和特點

　　DH-1080等離子噴涂系統是在Metco 7M、9M系統的基礎上，應用多種先進技術，結合中國市場的實際情況而研制成功的。在許多方面，其性能表現優于7M、9M系統。其主要特點為高效能、高穩定和高性價比。DH-1080等離子噴涂沒備由電源、控制柜、噴槍、轉接箱、送粉器和冷水機組等六部分主件組成。

　　該系統采用低壓大電流電源沒計理念，相比磁放大等離子噴涂電源來說，其反應速度更快，功率因數更高。相對逆變電源來說，其提供了更高的功率，只采用單一的電源就能使系統正常工作。而且其電源結構要比逆變電源要簡單的多，這也減小了控制系統的復雜性，同時也在一定程度上降低了生產和制造成本。其電氣原理如圖 1所示。

圖1 等離子噴涂電源電氣原理圖

這種設計的優點包括：

(1)降低對電氣零部件的絕緣要求，降低生產成本；增加了安全系數，減少了對人體傷害的不確定因素。

(2)采用軟啟動，使噴槍從開始啟動到正常工作緩慢過渡，避免瞬時大電流對噴槍進行沖擊，增加了噴槍的使用壽命。

(3)同比其他同類型的等離子噴涂電源，具有更高的功率因素，電源的功率因數可達80％。降低了噴涂成本。

(4)通過閉環控制、采用PID校正技術，使系統電流在0～800A的區間內的任一工作點上，都能保持恒定的電流輸出，具有良好的電壓一電流陡降特性。其在不同電流下的性能測試數據如圖2所示。

圖2 噴涂電源外特性圖

運用EDA技術，開發出了可編程控制數字移相晶閘管觸發電路為核心的晶閘管觸發板。該電路通過采用C語言，對MCU進行編程，以全數字移相技術為核心，形成具有相序自適應以及針對調壓與整流的模式識別功能的雙脈沖列式三相晶閘管數字移相觸發電路。針對等離子噴涂系統的三相全控整流調壓電路，本設計采用三相同步絕對式觸發方式，其觸發時序如圖3所示。

圖3 晶閘管觸發板觸發時序圖

運用該技術的優點：

(1)系統在空載時，電壓可以穩定在60V，方便噴槍的起弧。

(2)通過對電流的大小實時跟蹤，將測得的電流信號與給定電流進行比較，然后將比較結果輸入晶閘管觸發板控制晶閘管的觸發角度，實現對電流的閉環伺服控制。通過這一技術，使電源在正常工作時的電流波動率小于1％，從而為電弧的穩定提供了可靠的保障。

(3)降低變壓器次級的輸出電壓，以盡可能地減小晶閘管的觸發角，這也在很大程度上改善了系統工作時的電流波形，降低了系統本身的發熱量，延長系統的使用壽命。同時也保證了等離子弧束的穩定性，保證噴涂時粉末的均勻熔化、球化，避免粉末的過燒或夾帶生粒。

(4)相當寬的電壓工作區間。經試驗，DH-1080等離子噴涂系統可以在電網電壓只有310v的情況下，以80V、500A的狀態持續、穩定地工作。

(5)采用多種保護技術，保護系統中的關鍵零部件。主要有：①相序保護，避免因相序的錯誤而顛倒晶閘管的導通時序。②阻容保護，避免系統中的過脈沖電壓對晶閘管造成破壞。③耐壓高，大電流高速熔斷器的使用限制了系統中較長時間(幾毫秒)的過電流，給晶閘管再加上一層保護；同時其微動開關能快速地切斷系統的電源。④采用性能良好的交流接觸器，避免因使用劣質的接觸器而大幅度增加系統的不穩定因素。⑤溫度保護。采用溫度繼電器限制系統的使用溫度。

等離子噴涂槍是噴涂系統中最為關鍵的部件，其結構如圖4所示。

圖4 等離子噴槍結構示意圖

該噴槍在Metco 7MB、9MB的基礎上，經過多次的結構改進和優化設計，準確地選用材料，以及長時間的工作測試，其整體性能可達國外先進水平。其主要的優點有：

(1)改進的水道設計使噴槍的冷卻性能更好，延長易損零件的使用壽命。

(2)改進的噴嘴設計使其更換更方便，噴嘴的累積使用壽命更長。有多種不同型號的噴嘴和電極，可適用于多種等離子弧及不同工作參數的噴涂工作，增加了系統的柔性，大大拓展了該噴涂設備的應用領域。

(3)增加的空氣冷卻組件在噴涂工作時起到對工件表面進行凈化和冷卻的作用，保證了涂層質量。

(4)在系統噴涂預備的情況下，以電壓30V、電流100A的氬或氮等離子弧維持，節約電力，并且延長噴槍的使用壽命。同時，可以在很短時間內(3～4S，軟啟動)達到80V、500A的N2+H2的正常工作狀態。

(5)該噴槍可以采用Ar、N2、Ar+H2、N2+H2和Ar+N2，五種氣體工作方式進行噴涂。

通過等離子噴涂控制柜對系統中的各部件進行操作和控制，可實現各路氣體流量的穩定供給和預置參數制動準確定位和復位，提高了整套系統的可靠性和噴涂參數的可重復性、一致性，保證了噴涂質量。其創新點主要表現在：

(1)系統狀態檢測器實時自檢。在系統啟動之前和噴涂過程中，對系統的主要工作參數進行監測，并以LED方式顯示檢查結果或故障原因。

(2)以PIC為核心，完成對系統的全部時序控制，具有操作簡單、抗干擾能力強的特點。同時，具有相當大的柔性，可以通過改寫程序而改變系統的時序及時間參數，網此，也就具有相當強大的調試功能。其正常工作時的操作時序如圖5所示。

圖5 DH-1080等離子噴涂系統工作時序圖

三、等離子噴涂技術的應用

DH-1080等離子噴涂系統由于其良好的性能表現，因而可噴涂如下涂層：

1．熱障涂層(TBCs)

燃氣輪機的受熱部件，如葉片、噴嘴和燃燒室，處于高溫、氧化和高速氣流沖蝕等惡劣環境中。對于承受溫度高達1100℃的燃氣輪機部件，己超過了鎳基高溫合金使用的極限溫度(1075℃)。噴涂高熔點陶瓷涂層，對高溫合金基體起絕熱屏蔽作用，稱為熱障涂層。其基本要求是：耐高溫；抗高溫氧化；與金屬基體結合牢固；熱導率低，絕熱性好；熱膨脹系數與金屬基體匹配好，耐熱循環次數高。實踐表明，采用MCrAlY合金作粘結底層，噴涂Y2O3部分穩定ZrO2絕熱陶瓷涂層，涂層堅硬、致密，抗高溫燃氣沖蝕和抗熱震性能優異，即使在1650℃高溫下長期使用，其熱穩定性和化學穩定性能都很滿意。在Y203-Zr02 中加入少量CeO，能進一步改善涂層的抗熱展性能。在使用溫度更低一些的情況下，可采用MgO或CaO穩定的ZrO2作熱障陶瓷障涂層。

熱障涂層主要用于航空、艦船及陸用燃氣輪機的受熱部件，現正推廣應用于民用內燃機、增壓渦輪、冶金工業用噴氧槍等領域。

2．可磨耗密封涂層

采用熱噴涂技術在壓氣機渦殼內表面噴涂可磨耗密封涂層，與壓氣機葉片尖部的硬質涂層形成一對耐磨耗密封磨損付，在運行過程中，能形成理想的徑向氣流問隙，獲得最大的壓差，從而顯著地提高發動機的功率，降低航空汽油的消耗，提高發動機的功率和熱效率，提高發動機整機一次試車合格率。

3．抗高溫粘著磨損涂層

采用等離子噴涂技術，在高溫爐輥表面噴涂特種陶瓷或金屬陶瓷涂層，具有優異的耐高溫、抗氧化、抗粘著、防結瘤和自清理凈化性能，既可顯著地提高爐輥使用壽命，又能生產出表面光沽、質量優良的鋼材，如優質硅鋼板、優質汽車薄板和熱浸鍍薄板等。例如，熱軋不銹鋼帶退火爐爐輥，噴涂含BN的金屬陶瓷涂層，其耐高溫磨損性能提高4倍以上。

4．抗高溫熔融金屬或熔體侵蝕涂層

對在熔池內使用的金屬制件表面噴涂耐火陶瓷或金屬陶瓷涂層，就能獲得性能優異的耐高溫熔融金屬或熔體侵蝕涂層。例如，熱浸鍍鋁槽內的沉沒輥和穩定輥，由于鋁液具有極高的化學活性，能與多種金屬發生鋁熱反應形成金屬間化合物。因此，金屬合金爐輥在采用等離子噴涂特種陶瓷涂層后，使用壽命可由5～10天提高到 20～30天。

5．耐磨減磨涂層

等離子噴涂陶瓷涂層和金屬陶瓷涂層，不僅具有高的硬度、優異的耐蝕性，而且摩擦系數小、能耗低，對密封材料的磨損小，涂層硬度和耐磨性不會因為局部過熱而降低。現在，大型推土機用液壓活塞桿、軋鋼機用液壓活塞桿、建筑瓷磚壓坯用液壓機活塞桿、水輪執葉輪軸和磨環、電摳軸頭、磨床軸、燃油泵軸、執咬死軸套、活塞環、凸輪隨動件等，在低應力滑動磨損和腐蝕工況下，幾乎所有原用鍍鉻的制品都可以用熱噴涂陶瓷或金屬陶瓷涂層代替，提高耐磨性能。

6．耐纖維磨損涂層

在化纖紡機的導絲、紡絲部件表面，采用等離子噴涂Al2O3基復合陶瓷涂層，經處理獲得“桔皮狀”外觀形貌，達到Ra≈1.5μm的表面粗糙度，是理想的工作表面。

7．親水與介電涂層

現代造紙和印刷機械，盡管運行速度很高，但因負荷輕，故均處于低應力狀態，適合于熱噴涂涂層的應用。等離子噴涂陶瓷涂層技術，在國外的造紙和印刷機輥子上已成功應用多年，且日益擴大。等離子噴涂陶瓷后進行激光刻蝕輥是進行高質量、高清晰圖像印刷的保證。

四、在高新技術領域的應用及潛力展望

熱噴涂高性能陶瓷涂層技術，正在高科技領域嶄露頭角，將帶動和促進一系列高科技術的發展和興起。

1．高溫超導體制件

用等離子噴涂超導陶瓷涂層，具有獨特的優點：沉積速率高，容易制備厚涂層和大而積涂層，能夠噴涂具有復雜形狀的超導制件，可直接在大氣巾噴涂，不需保護氣體，是實現超導材料實用化很有希望的工藝。等離子噴涂釔鋇銅氧(YBaCuO)、鉍鍶鈣銅氧(BisrCaCuO)超導陶瓷涂層，都已有應用成功的報道。在磁屏蔽、微波元件、各類傳感器和量子電子器件等方面，展示出很好的應用前景。

2．在微電子工業中的應用

在金屬板(如科伐合金、銅、鋁、鋼)上噴涂絕緣陶瓷涂層，具有高熱導率的金屬能將強電流所產生的熱發散開，而陶瓷涂層則提供很好的介電絕緣性能。據計算，在銅板上噴涂Al2O3陶瓷涂層，其總熱導率比在相同厚度銅板上燒結氧化鋁層的總熱導率高五倍，這十分有利于集成電路板的散熱和提高功率。

3．生物醫學功能陶瓷涂層

在金屬基體上等離子噴涂生物醫學功能陶瓷涂層，具有以下特點：①對生物體無毒，適于體內安全使用。②對生物體和細胞有良好的適應性和親和性，不會產生副作用。③耐人體體液腐蝕。④耐長期使用過程中的磨損。⑤具有人體運動所必須的強度、韌性等力學性能。⑥噴涂層的多孔，性和粗糙表面，有利于生物體組織向人工骨骼表而的生長和親和。因此，熱噴涂金屬基生物陶瓷涂層的人工骨骼，是比較理想的人工骨骼材料。

五、結論

等離子噴涂由于具有高溫度、高熱焓和高速度的特性，可以噴涂各種熱噴涂粉末，已經廣泛應用于各行各業，對設備零部件的使用性能的提高起到了至關重要的作用，是機械零部件提高表面性能不可缺少的工藝方法。

唯有良好的設備和合理的工藝相結合，才是制作優良涂層的惟一途徑。因此，選擇設備和選擇工藝是該技術的重中之重。