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非晶金剛石膜在高速鋼絲錐上的應(yīng)用

作者： 2013年07月22日來源：瀏覽量：

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1引言自1971年Aisenberg和Chabot用高能離子束在室溫下沉積出類金剛石碳膜的研究成果問世以來，在世界范圍內(nèi)興起了類金剛石膜的研究和應(yīng)用開發(fā)熱潮，各國研究人員用各種不同的高能粒子沉積方法制備出類金剛石膜。用碳

1 引言

自1971年Aisenberg和Chabot用高能離子束在室溫下沉積出類金剛石碳膜的研究成果問世以來，在世界范圍內(nèi)興起了類金剛石膜的研究和應(yīng)用開發(fā)熱潮，各國研究人員用各種不同的高能粒子沉積方法制備出類金剛石膜。用碳?xì)浠衔餁怏w獲得碳離子源的沉積方法，鍍膜中含有大量氫元素；而用固體碳(石墨)作碳離子源的沉積方法，可得到純碳的鍍膜。類金剛石碳膜通常為非晶態(tài)或含有部分納米晶，是金剛石結(jié)構(gòu)(SP³)和石墨結(jié)構(gòu)(SP²)的混合物，其硬度、彈性模量等性能主要取決于SP³結(jié)構(gòu)的含量。當(dāng)SP³≥20%、硬度HV≥2000時(shí)，稱為類金剛石碳膜(DLC)；當(dāng)SP³≥70%、硬度HV≥7000時(shí)，稱為非晶金剛石碳膜，因其屬于四面體金剛石結(jié)構(gòu)，故又稱為非晶四面體金剛石碳膜(ta-c)。

非晶金剛石膜具有高硬度、低摩擦系數(shù)和高熱導(dǎo)率等優(yōu)異性能(見表1)，在刀具、量具和模具制造業(yè)有著廣泛的應(yīng)用前景。

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