川本恒溫恒壓冷凍機控制系統在MOCVD半導體芯片設備的應用

作者： 2013年07月18日來源：瀏覽量：

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爭對深圳一生產LED芯片廠家的現狀，現車間有5臺MOCVD機、高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測試機各1臺，根據客戶需要進行恒溫恒壓供水設計。

一、系統參數

爭對深圳一生產LED芯片廠家的現狀，現車間有5臺MOCVD機、高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測試機各1臺，根據客戶需要進行恒溫恒壓供水設計。

初步設計5臺MOCVD機分別由2臺40HP和1臺20HP制冷系統分別對其進行恒溫恒壓供水，高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測試機1臺的供水由1臺15HP制冷系統進行恒溫恒壓供水，依據參數設計如下表：

設備	數量	冷水流量(m3/h)	供水壓力（bar）	最小壓差（bar）	進水溫度 ℃	進水管徑不繡鋼	所需配冷水機	備注
1#MOCVD	1	10	4.83±0.69 （4-6）可調	2.76	18－20	DN25	40HP	水質為純凈水
2#MOCVD	1	10	4.83±0.69 （4-6）可調	2.76	18－20	DN25	40HP	水質為純凈水
3#MOCVD	1	10	4.83±0.69 （4-6）可調	2.76	18－20	DN25	40HP	水質為純凈水
4#MOCVD	1	10	4.83±0.69 （4-6）可調	2.76	18－20	DN25	40HP	水質為純凈水
5#MOCVD	1	10	4.83±0.69 （4-6）可調	2.76	18－20	DN25	20HP	水質為純凈水
高溫烘爐	1	12	2.5		22－25	DN50	15HP	水質為純凈水
單管退火爐	1	3				DN20
XRD	1	0.36	4	――	15－25	DN15

二、變頻恒壓供水特點:
    1、恒壓供水能自動24小時維持恒定壓力，并根據壓力信號自動啟動備用泵，無級調整壓力，供水質量好，與傳統供水比較，不會造成管網破裂及水龍頭共振現象。
    2、動平滑，減少電機水泵的沖擊，延長了電機及水泵的使用壽命，避免了傳統供水中的水錘現象。
    3、采用變頻恒壓供水保護功能齊全，運行可靠，具有欠壓、過壓、過流、過熱等保護功能。
    4、系統配置可實現全自動定時供水,徹底實現無人值守自動供水.控制系統具有故障報警和顯示功能,并可進行工變頻轉換,應急供水。
    5、系統根據用戶用水量的變化來調節水泵轉速，使水泵始終工作在高效區，當系統零

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