分子泵組的簡(jiǎn)單介紹
高真空測(cè)量系統(tǒng)分子泵組，有分子泵接口和機(jī)械泵家口，一臺(tái)泵組兩用，空載極限壓強(qiáng)為1X10-4Pa。
分子泵組的詳細(xì)信息
高真空測(cè)量系統(tǒng)分子泵組，泵組搭配機(jī)械泵抽氣口和分子泵抽氣口，可根據(jù)需求使用，前級(jí)采用雙極四旋片真空泵，2.2L/S。分子泵采用150分子泵，空載極限壓強(qiáng)為1X10-4Pa
高真空測(cè)量系統(tǒng)分子泵組KT-150YCF技術(shù)參數(shù)： 控制方式 | 手動(dòng)人機(jī)界面控制 | 前級(jí)泵接口 | KF25（客戶根據(jù)真空環(huán)境潔凈度要求自行安裝前級(jí)泵） | 分子泵 | FF-100/150 51000轉(zhuǎn)/分 | 分子泵抽氣速率 | 140L/S | 分子泵啟動(dòng)時(shí)間 | ≤2min | 空載極限壓強(qiáng) | ≤1X10-4Pa | 真空測(cè)量方式 | 冷陰極標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管 | 真空測(cè)量范圍 | 1E﹢2到1E-5 Pa | 真空測(cè)量精度 | 1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數(shù) 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數(shù) 重復(fù)性： ±5% | 抽氣接口 | KF25 | 閥門(mén)類(lèi)型 | KF25手動(dòng)擋板閥 | 系統(tǒng)電源 | AC220V | 系統(tǒng)功率 | ≤750W | 環(huán)境溫度 | 5~32℃ | 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷卻 | 濕度 | ≤80%RH | 外形尺寸 | 250 X360 X 300mm （寬-深-高） | 重量 | 25KG | 隨機(jī)配件：KF25高真空擋板閥X1個(gè) KF25卡箍X3個(gè) kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說(shuō)明書(shū)X1本 電源線x1根 冷陰極真空計(jì)X1個(gè) |
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