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智能氣體配比器的簡單介紹該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體，采用CS200或CS100質量流量計，氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強，閥門采用高壓球閥做截止閥，氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭，方便連接且不易泄漏。智能氣體配比器的詳細信息質量流量計智能氣體配比器，可選配七星各種系列流量計，觸摸屏控制調節不同時間不同流量氣體，操控簡單， CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規模集成電路裝備設計的產品，該產品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統。 ? 準確度采用設定點精度，產品精度可達±1.0% S.P.，響應時間最快≤ 0.5sec。 ? CS300系列產品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產品工作的穩定性和準確性。 質量流量計智能氣體配比器
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