一英寸顯微鏡真空探針臺(tái)的簡單介紹
便攜式探針臺(tái)，結(jié)構(gòu)小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實(shí)驗(yàn)的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺(tái)采用分體結(jié)構(gòu)，使得探針部分能從整個(gè)探針臺(tái)系統(tǒng)中獨(dú)立出來，可以應(yīng)用于輻照實(shí)驗(yàn)中，該探針臺(tái)也可放置高低
一英寸顯微鏡真空探針臺(tái)的詳細(xì)信息
掌上真空探針臺(tái)，一體式不銹鋼腔體，手動(dòng)調(diào)節(jié)探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。高低溫配置 KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺(tái)，結(jié)構(gòu)小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實(shí)驗(yàn)的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺(tái)采用分體結(jié)構(gòu)，使得探針部分能從整個(gè)探針臺(tái)系統(tǒng)中獨(dú)立出來，可以應(yīng)用于輻照實(shí)驗(yàn)中，該探針臺(tái)也可放置高低  溫箱中，用于芯片的三溫測(cè)試。多探針結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)多路測(cè)試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒，增加了抗干,擾,能力，其測(cè)試數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確。 掌上真空探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T 真空腔體 | 類型 | 高溫型室溫到400℃ | 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-190℃ | 腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | 腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | 腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | 腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | 腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | 腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | 腔體真空測(cè)量口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | 腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | 腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | 腔體水冷接口 | | 腔體正壓 | ≤0.05MPa | 腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | 樣品臺(tái) | 樣品臺(tái)材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 | 樣品臺(tái)尺寸 | 26x26mm | 樣品臺(tái)加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 | 樣品臺(tái)-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | 樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | PT100型熱電阻 | 樣品臺(tái)溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ | 樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.5℃ | 樣品臺(tái)升溫速率 | 高溫100℃/min 低溫7℃/min | 溫控儀 | 溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 | 溫控類型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 | 溫度分辨率 | 0.1℃ | 溫控精度 | ±0.5℃ | 溫度信號(hào)輸入類型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | 溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 | 輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 | 溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | 溫控器重量 | 約5.6KG | 探針 | 電信號(hào)接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 | 電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | 探針數(shù)量 | 4探針（可擴(kuò)展5探針） | 探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） | 探針尖 | 10μm | 手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái) | X軸移動(dòng)行程 | 20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)） | X軸控制精度 | ≥500μm | R軸移動(dòng)行程 | 120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿） | R軸控制精度 | ≥500μm | Z軸移動(dòng)行程 | 2mm ±1mm | Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào) |
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